Mercredi 27 Juin @ VIPress.netRohm and Haas investit 60 M$ dans la lithographie 193 nm
Le fabricant de matériaux Rohm and Haas vient d’annoncer un investissement de 60 M$ dans l’achat d’équipements de lithographie destinés à ses travaux de R&D liés au développement de matériaux (résines photosensibles, revêtements) pour la lithographie par immersion 193 nm.
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